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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Resumen/Descripción – provisto por la editorial

No disponible.

Palabras clave – provistas por la editorial

Ingeniería Química

Disponibilidad
Institución detectada Año de publicación Navegá Descargá Solicitá
No detectada 2005 SpringerLink

Información

Tipo de recurso:

libros

ISBN impreso

978-3-540-22109-8

ISBN electrónico

978-3-540-26876-5

Editor responsable

Springer Nature

País de edición

Reino Unido

Fecha de publicación

Cobertura temática