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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
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Palabras clave – provistas por la editorial
Ingeniería Química
Disponibilidad
| Institución detectada | Año de publicación | Navegá | Descargá | Solicitá |
|---|---|---|---|---|
| No detectada | 2005 | SpringerLink |
Información
Tipo de recurso:
libros
ISBN impreso
978-3-540-22109-8
ISBN electrónico
978-3-540-26876-5
Editor responsable
Springer Nature
País de edición
Reino Unido
Fecha de publicación
2005
