Catálogo de publicaciones - actas de congreso
2015 International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT)
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Palabras clave – provistas por la editorial
Engineered Materials; Dielectrics and Plasmas
Disponibilidad
| Institución detectada | Año de publicación | Navegá | Descargá | Solicitá |
|---|---|---|---|---|
| No detectada | 2015 | IEEE Xplore |
Información
Tipo de recurso:
actas de congreso
ISBN impreso
978-1-4673-8664-7
ISBN electrónico
978-1-6195-6510-4
Editor responsable
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
País de edición
Estados Unidos
Fecha de publicación
2015
