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Journal of Vacuum Science and Technology. B-Microelectronics and Nanometer Structures
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Disponibilidad
| Institución detectada | Período | Navegá | Descargá | Solicitá |
|---|---|---|---|---|
| No detectada | desde ene. 2004 / hasta dic. 2020 | IEEE Xplore |
Información
Tipo de recurso:
revistas
ISSN impreso
1071-1023
ISSN electrónico
1520-8567
País de edición
Estados Unidos
Fecha de publicación
1991-2010
