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Título de Acceso Abierto
Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry
Resumen/Descripción – provisto por la editorial
No disponible.
Palabras clave – provistas por la editorial
surface metrology; profilometry; interferometry; low-coherence interferometry; semiconductor manufacturing; optical metrology; Open Access
Disponibilidad
| Institución detectada | Año de publicación | Navegá | Descargá | Solicitá |
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| No requiere | Directory of Open access Books |
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Información
Tipo de recurso:
libros
País de edición
Reino Unido
