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Título de Acceso Abierto
Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
Parte de: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
Resumen/Descripción – provisto por la editorial
No disponible.
Palabras clave – provistas por la editorial
MEMS-Sensor; Drehratensensor; Inertialsensor; Dämpfung; Q-Faktor; MEMS sensor; gyroscope; inertial sensor; damping atmosphere; Q factor
Disponibilidad
| Institución detectada | Año de publicación | Navegá | Descargá | Solicitá |
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| No requiere | Directory of Open access Books |
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Información
Tipo de recurso:
libros
País de edición
Alemania
Información sobre derechos de publicación
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