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Título de Acceso Abierto
Caracterización óptica de películas delgadas mediante interferometría holográfica
Diego Mario Nicolás Balducci Nicolás Budini Myrian Cristina Tebaldi Silvia Noemí Tinte Evelina Andrea García Raúl Urteaga
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Resumen/Descripción – provisto por el repositorio digital
El objetivo es medir espesores de películas delgadas del orden de fracciones de la longitud de onda del láser utilizado, y lograr la reconstrucción tridimensional de las superficies como una imagen del contraste de fase a través del desarrollo de algoritmos de procesamiento de los hologramas digitales. Para el desarrollo del trabajo experimental, en una primera etapa se utilizó una muestra que contiene una película de plata depositada sobre silicio cristalino, de espesor conocido. Se aplicó la técnica de microscopía holográfica digital a dicha muestra, para obtener imágenes del diagrama de fases. La segunda etapa consistió en determinar la distancia focal optima, con tolerancias del orden de la décima de milímetro, situando la cámara (plano imagen) a diferentes distancias de la muestra (plano objeto) y analizando diferentes operadores de medición de foco. En la tercera etapa se desarrolló la corrección de las principales aberraciones ópticas presentes en el diagrama de fases por métodos de procesamiento numérico. Una vez cumplidos los tres pasos anteriores se procedió a obtener hologramas de la muestra de referencia. Se obtuvieron mediciones del espesor del depósito de plata de aproximadamente 160 nanómetros, con una tolerancia de 10 nanómetros . Por último se tomaron hologramas de una muestra que contiene una película delgada de óxido de silicio sobre silicio cristalino. Las imágenes de fases procesadas arrojaron espesores del óxido de silicio de aproximadamente 90 nanómetros, con una tolerancia de 10 nanómetros, obteniéndose también gráficas de los perfiles de la superficie y gráficas tridimensionales de la topografía superficial.Palabras clave – provistas por el repositorio digital
Microscopía holográfica digital; Recubrimiento de película delgada; Silicio cristalino; Digital holographic microscopy; Thin film coating; Crystalline silicon
Disponibilidad
| Institución detectada | Año de publicación | Navegá | Descargá | Solicitá |
|---|---|---|---|---|
| No requiere | 2021 | Biblioteca Virtual de la Universidad Nacional del Litoral (SNRD) |
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Información
Tipo de recurso:
tesis
Idiomas de la publicación
- español castellano
País de edición
Argentina
Fecha de publicación
2021-04-20
